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質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環境。而質量流量，是利用測量氣體的質量，而質量是不受外界的環境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導體制造制程有廣泛的使用。
它是搭載有壓電閥、可在高溫環境中使用的質量流量控制器。
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適用于高溫：可滿足150℃烘焙
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產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
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超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
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最適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
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SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃
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SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃
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SEC-8440LSL
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃
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SEC-8450LSL
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃
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SEC-8455LSL
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃
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SEC-8460LSL
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃
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SEC-8440LSM
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃
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SEC-8450LSM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃
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SEC-8455LSM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃
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SEC-8460LSM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃
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SEC-8440LSH
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃
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SEC-8450LSH
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃
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SEC-8455LSH
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃
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SEC-8460LSH
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃
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SEC-8440SL
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃
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SEC-8450SL
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃
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SEC-8455SL
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃
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SEC-8460SL
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃
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SEC-8440SM
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃
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SEC-8450SM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃
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SEC-8455SM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃
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SEC-8460SM
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±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃
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